mīkini paʻi paʻi akamai ʻokoʻa transducer Metal Capacitive Pressure Sensor

ʻO ka wehewehe pōkole:

Hoʻololi ʻia ke kaomi maʻamau i ka diaphragm hoʻāʻo ma waena o ka lumi δ e ka diaphragm a me ka ʻaila Silicon, ʻoiai ʻo ka diaphragm hoʻāʻo he mea paʻa paʻa, hana ia i ka neʻe ʻana ma hope o ka ʻokoʻa kaomi.ʻO ka neʻe ʻana o ka diaphragm a me ka ʻokoʻa ʻokoʻa i ke kuhikuhi ʻana, ʻo ka max displacement he 0.1mm, ua hoʻāʻo ʻia e ka capacitive plat ma nā ʻaoʻao ʻelua, A laila ua hoʻololi ʻia ka capacitor ʻokoʻa ma waena o ka diaphragm hoʻāʻo a me ka papa capacitive i ka puka maʻamau e ka Awawa Kaapuni.